1. 廢氣處理洗滌塔本體
　　耐真空，耐壓，本體結構設計符合完整的基礎支撐，頂端強度至少能支撐一個人的重量，人孔、視窗、噴霧系統及內部的支撐設計均應考慮所承受之壓力及抗腐蝕性。
　　2. 廢氣處理洗滌塔入口與出口流速設計
　　洗滌塔廢氣入口與出口流速設計必須防止氣流產生空蝕現象。如果設計不良，空氣流與洗滌液產生分道通過，將會大大降低洗滌塔的洗滌效率，入口設計流速必須考慮廢氣進入洗滌塔的氣流能很均勻的分布于整個填充層的斷面積
　　3. 循環水槽
　　廢氣處理洗滌塔的最底層連接一循環水槽，提供洗滌塔有2-5分鐘之循環水量，設計上注重于經濟性，操作維修方便性與耐腐蝕性。
　　4. 洗滌液及分布系統
　　洗滌液可循環使用，亦可設計為批次操作或連續式自動操作，需要時補充少量新鮮之洗滌塔，以便在吸收污染物否尚能維持其效率。分布設計中采用低壓較大水量之噴嘴，發揮最大之均勻流率，達到最高之洗滌效率
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